蚀刻用腐蚀液与配方比例

i1982die · 发表于 2006-11-13 14:30:47

腐蚀液
铝蚀刻液    Aluminum Etch : H3PO4/HNO3/CH3COOH
ITO 蚀刻液    ITO Etch       : HNO3/HCL
铬蚀刻液    Chrominum Etch: ACN/HNO3
多晶硅蚀刻液 Poly-Si Etch: HNO3/HF
Ni刻蚀液                            ：HCl+HNO3+H2O+H2O2
Ti刻蚀液                               ：HF+H2O

配方比例
to yyxhd :铝蚀刻液(PAE) 成分：H3PO4:HNO3:HAC:H2O=16:1:1:2
蚀刻温度一般是 40c+/-1c

to wesley :poly etchant HNO3:HF:H2O  前两者大概2：3 后面的H2O先不说了。反正很稀所以蚀刻速度不是很快。可以控制。和Sio2反映还是会的。。

铝膜湿法刻蚀的蚀刻液的成分
每家不同的比例不一样速率也不一样
但有一点HNO3只可用一点点、但是H3PO4是主要的 CH3COOH 比HNO3 多几倍  但远少于H3PO4
有一点还要根据你腐蚀的图形大小和SI含量来增加减少HNO3的含量

铝腐蚀液的比例硝酸：醋酸：磷酸=1：4：4

aerosmith · 发表于 2006-11-13 23:15:44

这字母加数字的咚咚都看布懂，面子没了

kro5 · 发表于 2006-11-16 01:03:06

i1982die 简直是狂人啊，的美术功底+化学功底，一般人比不了你。

lan213 · 发表于 2006-11-16 11:00:22

提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

刚玩两年 · 发表于 2006-11-16 13:39:03

偶得回家复习化学了

tony51321 · 发表于 2006-12-16 09:30:37

H3PO4 磷酸
/HNO3 硝酸
/CH3COOH 醋酸
HCL 盐酸
AC 是醋酸根的缩写 Ch3COOH-
HAC 因该就是醋酸吧
HF 氢氟酸
H2O 是水.........
不过楼主没有说明酸的浓度啊！
HCl 最高浓度 36%
硝酸 98%
别的都忘了.... 上大学学机械的，化学生物记得高中时候很好，都忘光了

kyo5678 · 发表于 2006-12-24 18:23:10

感觉楼主都可以做原子弹了

显示全部楼层 · 发表于 2007-01-05 16:02:45

提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

gha101 · 发表于 2007-01-05 22:40:14

原帖由 kyo5678 于 2006-12-24 18:23 发表
感觉楼主都可以做原子弹了

:cool: 我想他能做出来。

剃刀 · 发表于 2007-01-24 19:01:08

原帖由 tony51321 于 2006-12-16 09:30 发表
H3PO4 磷酸
/HNO3 硝酸
/CH3COOH 醋酸
HCL 盐酸
AC 是醋酸根的缩写 Ch3COOH-
HAC 因该就是醋酸吧
HF 氢氟酸
H2O 是水.........
不过楼主没有说明酸的浓度啊！
HCl 最高浓度 36%
硝酸 98%
别的都忘 ...

非常感谢！这样就好了！

lan213 lan213 当前离线积分 97 IP卡狗仔卡	发表于 2006-11-16 11:00:22 \| 显示全部楼层提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽
lan213 lan213 当前离线积分 97 IP卡狗仔卡
	回复使用道具举报显身卡

至宝z 该用户已被删除	发表于 2007-01-05 16:02:45 \| 显示全部楼层提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽
至宝z 该用户已被删除
	回复使用道具举报显身卡